流量傳感器：這是質量流量控制器的核心部件，用于精確測量流體的流量。流量傳感器通常采用熱式質量流量計，其原理是根據流體的質量流量與加熱元件的熱耗散之間的比例來測量流量。

　　流量調節閥：質量流量控制器通過調節閥來控制流體的流量。調節閥通常采用電動或氣動方式進行驅動，可以根據控制信號或預設程序來調節閥門的開度和流量。

　　放大控制電路：質量流量控制器的放大控制電路將流量傳感器的信號進行放大和調節，以便更好地控制流量。它通常包括放大器、濾波器、運算放大器等元件，以實現信號的放大、濾波和比較等功能。

　　分流器控制通道：分流器控制通道用于將流體分成兩個或更多的分支流，以實現多個流量的同時控制。它通常由分流器、閥門、管道等組成，可以根據實際需要配置成不同的分流模式。

　　顯示和控制系統：質量流量控制器通常配備有數字顯示或模擬指示器，用于實時顯示流體的流量和其它參數。同時，它還具有各種控制功能，如自動控制、手動控制、報警提示等。

　　此外，質量流量控制器還可能包含其他部件，如壓力傳感器、溫度傳感器等，以實現更精確的測量和控制。這些部件協同工作，共同構成了質量流量控制器這一精密儀器。